规格
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膜质 (※1)（膜厚）
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TiN、TiCN(※2)（2～4μm(最高5μm)）、
"Cronion"(※2)（3～6μm(最高7μm)）
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处理温度
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涂层的最后工序约为400～500℃
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处理有效尺寸
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直径220mm×高度400mm×8轴
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处理品重量
(包括夹具在内的每根轴)
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自转公转时 最高25kg、未自转公转时 最高40kg
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构成设备
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涂层装置主机、排气装置、电源装置、控制装置、
控制用计算机、温水槽
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公用设施
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电力、冷却水、氩气、原料氮气、冷却用氮气
压缩空气、蒸发金属
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选购件
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夹具、清洗装置、膜厚测量仪、划痕测试仪、脱磁器、
检漏仪
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(※1) 装置中配有TiN或Cronion成膜软件。
(※2) TiCN膜为选购项。
配置图
