|
膜质 (※1)（膜厚）
|
TiN、TiCN、VC(※2)（2～4μm(最高5μm)）、
"Cronion"(※2)（3～6μm(最高7μm)）
|
|
处理温度
|
涂层的最后工序约为400～500℃
|
|
处理有效尺寸
|
直径170mm×高度320mm×8轴
|
处理品重量
(包括夹具在内的每根轴)
|
自转公转时 最高10kg、未自转公转时 最高15kg
|
|
构成设备
|
涂层装置主机、排气装置、电源装置、控制装置、
控制用计算机、温水槽
|
|
公用设施
|
电力、冷却水、氩气、原料氮气、冷却用氮气
压缩空气、蒸发金属
|
|
选购件
|
夹具、清洗装置、膜厚测量仪、划痕测试仪、脱磁器、
检漏仪
|
(※1) 装置中配有TiN或Cronion成膜软件。
(※2) TiCN膜、VC膜为选购项。
配置图
